SKY CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar-仪器供应网

产品详情

好处

从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐蚀陶瓷传感器
的*信号稳定性
温度补偿
传感器受防污染保护
一键调零功能
宽范围电源

典型应用

用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
数据存储和显示器制造设备
工业真空设备
经济、高度精确的压力测量

规格

类型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
温度效应
零点	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
满量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
压力，大	kPa (absolute)	400	260	260	130	130
反应时间 (2)	ms	30	30	30	130	130
低读数	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建议的低读数	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建议的低控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
温度
运行（环境）	°C	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50
在法兰处烘烤 (3)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65
电源电压	V (dc)	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30
功耗	W	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10
保护等级		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
设定点 (4)
设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
继电器触点		30	30	30	30	30
滞后	percent FS	1	1	1	1	1
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70 ⁽⁵⁾, stainless steel (AISI 316L ⁽⁶⁾), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容积
1/2'' 管	cm³ (in.³)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)
8 VCR®	cm³ (in.³)
重量
1/2'' 管	g
DN 16 ISO KF	g
DN 16 CF-R	g
8 VCR®	g