供应
供应
产品详情
产品特点：
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间；
2.FEC加热，升温迅速且均匀度好；
3.优质不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度；
4.自带自清洁功能——高温清洁。
技术参数：
型号 | TASF3075D107-N0 | TASF3075D207-N0 | TASF3075D407-N0 | |||
处理产品 | 8/12inch 晶圆 | 处理量 | 100/75PCS/管 | |||
加热器 | 圆形FEC加热板 | |||||
上料口 | 4个 | 机械手 | 1 | |||
温度范围 | 长期使用温度: 350℃，温度：750℃ | |||||
升温速率 | ＜8℃/min | 降温速率 | ＜7℃/min | |||
加热功率 | 30kW(单炉)*2 | 加热温区 | 3个*2 | |||
炉温均匀性 | ±2℃（350℃恒温） | 控温热偶 | K分度 | |||
温度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |||
炉膛材料 | 石英 | 保温材料 | 陶瓷纤维 | |||
气氛控制 | 多路流量计调节进气 流量计量程： 1）0-150L/min 氮气 2）0-40L/min 氧气 | 气氛 | N2/O2 | |||
排气系统 | 在顶部设置排气烟囱，用于废气排放,回收 | |||||
摘要:应用范围：广泛用于航空航
[详细]
摘要:产品用途：适用于对电工电
[详细]
摘要:台式干燥箱（A：250℃B：30
[详细]
摘要:应用领域：针对功能陶瓷、
[详细]
摘要:应用领域：铜厚膜烧制、金
[详细]
摘要:应用介绍：广泛应用于航空
[详细]
耐磨试验机 霍尔效应测试仪 建筑工程仪器 防震台 测汞仪 光学显微镜 光学实验设备 偏光显微镜 流变仪 粘度计 电压击穿试验仪 超临界萃取设备 加热设备 恒温槽 球磨机 磁力反应釜 高压反应釜 氢气发生器 生物工程设备 生物安全柜 红外热像仪 崩解仪 运动粘度试验器 常用生化试剂 化学试剂 毛细管电泳 干燥器 量筒 比色管 试管架 温度试纸 柱温箱 生化分析仪
