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产品详情
技术参数：
型号 | TASZ3050D203-N | TASZ3050D403-N | ||
产品特点 | 可搭载OHT实现无人化操作，节省空间，真空下低温烘烤缩短工艺时间，产品保护产品性能提升。 | |||
氧气含量 | 50PPM | 工艺温度 | 室温+30-300℃ | |
产品规格 | 8/12inch 晶圆 | 存放数量 | 50PCS/管 | |
加热器 | 热电阻加热 | |||
上料口 | 2个 | 机械手 | 1 | |
温度范围 | 长期使用温度: 200℃，温度：300℃ | |||
升温速率 | 1~5℃/min | 降温速率 | 3℃/min | |
加热功率 | 22KW | 加热温区 | 3个 | |
炉温均匀性 | ±3℃ | 控温热偶 | K分度 | |
温度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |
炉腔材料 | SUS316L | 保温材料 | 陶瓷纤维 | |
气氛控制 | 多路流量计调节进气 | 气氛 | N2 | |
真空度 | ≤10pa | |||
洁净度 | Class 100 | 翘曲度 | 12寸翘曲度≤2mm； 8寸翘曲度≤1mm | |
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