VAIS-AMT台面主动防振系统

AMTEK公司专门从事纳米测量和分析设备的防振系统，于2007年成功地将韩国的个主动防振系统商业化。

我们的系统可以灵活地应用于所有类型的纳米测量和分析设备，以帮助您获得最准确的结果.

一、概述

VAIS-AMT系列是韩国个商业化的台面主动防振系统，于2007年开发.它满足EST的VC-G级的抗振动环境，以适应原子力显微镜(AFM)，这是一种特别容易受到低频振动干扰的装置.

VAIS-AMT还消除了被动隔震系统的共振现象，更容易安装和操作。自商业化以来，VAIS-AMT的优异性能和竞争力的价格已被世界各地的AFM制造商所认可，并应用于各种纳米测量仪器中。

二、规格

1）易于安装和运输

在金属线圈弹簧的支持下，VAIS-AMT不需要压缩空气供应商.

它可以方便地运输和安装在任何地方的电力。

2）Floor Feed-Forward 控制

利用反馈和地面前馈控制，AVIS-AMT具有良好的抗低频振动干扰能力，这是被动防振系统中常见的问题。

3）LED状态指示器

前面板上有三盏LED灯(红色、绿色、蓝色)，可方便地显示振动状态、环境变化和使用性能。

4）易于自我诊断。

数字控制的VAIS-AMT是为方便自诊断操作相关故障，如重心的变化而设计的。

5）远程支持

AMTEK为方便的性能诊断和技术支持提供了远程实时支持。

三、性能

1.隔振性能(透过性)

                                           气动无源隔振器图像

                                               VAIS-AMT图片

四、应用展示

1）应用指南

 (1) 研制了适合AFM/SPM的AVIS-AMT系列，需要较长的时间才能得到图像。该系列的能力，创造一个稳定的振动环境，已得到世界各地的几家AFM制造商的验证，并被用于不同的地点。

 (2) 通过对振动敏感AFM的研究，VAIS-AMT正在将其应用范围扩展到各种需要高精度测量的显微镜，包括光学显微镜、三维表面光学轮廓仪、微型扫描电镜、纳米压痕等。

 (3) 通过消除气动被动隔振系统的振动放大(共振)问题，并提供有竞争力的价格，VAIS-AMT系列将努力为所有需要纳米尺度测量的分析设备提供一个理想的振动环境。

2）可配套使用的仪器

（1）原子力显微镜

（2）扫描探针显微镜

（3）三维表面测量系统

（4）桌面扫描电镜

（5）高精度光学显微镜

（6）纳米压痕系统

（7）纳米测量/分析仪器