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产品详情
LF PLASMA系列
产品概况
厂家：天科创达
产地：中国
专为实验室设计，适用材料清洁与活化
可用于处理各种高分子材料，金属，玻璃等表面
规格参数
| 设备型号 | PT-03-LF | PT-05-LF | PT-08-LF |
| 真空腔体 | Φ130mm； D160mm | Φ150mm； D260mm | Φ210mm； D260mm |
| 射频电源 | 100W；40KHz | 200W；40KHz | 100W；40KHz |
| 150W；13.56MHz | 150W；13.56MHz | ||
| 真空计 | 1×10-2～1×105 | 1×10-2～1×105 | |
| 流量计 | 1通道浮子流量计 | 2通道浮子流量计 | 2通道MFC |
| 工艺气体 | 氧气，氩气，氢气，氮气等 | ||
| 控制方式 | 半自动 | 手动/自动 | 手动/自动 |
| 人机界面 | 7寸触摸屏 | 10寸触摸屏 | |
| 主机尺寸 | 550（W）×450（D）×260（H） | 485（W）×650（D）×525（H） | 600（W）×800（D）×1800（H） |
| 真空泵 | 可选干泵或油泵 | ||
| 安装条件 | AC220V；50/60Hz；2Phase 3Wire；1KVA | ||
| 其他说明 | 有单独通风泄压通道，设备相关配置可按要求定制 | ||
设备特点
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