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产品详情
MF PLASMA系列
产品概况
厂家：天科创达
产地：中国
专为工厂生产设计，适用材料清洁与活化
可用于处理各种高分子材料，金属，玻璃等表面
腔体内气浴设计，工艺气体分布更加均匀
规格参数
| 设备型号 | PT-20-MF | PT-35-MF | PT-60-MF |
| 真空腔体 | W260mm;D300mm;H260 mm | W290mm;D350mm;H280 mm | W400mm;D400mm;H400mm |
| 射频电源 | 1000W;40KHz 300W；13.56MHz | 1000W;40KHz 300W；13.56MHz | 1000W;40KHz 500W；13.56MHz |
| 真空计 | 1×10-2～1×105 | 1×10-2～1×105 | 1×10-2～1×105 |
| 流量计 | 2通道MFC （0-200sccm） | 2通道MFC （0-200sccm） | 2通道MFC （0-200sccm） |
| 工艺气体 | 氧气，氩气，氢气，氮气等 | ||
| 控制方式 | 手动/自动 | 手动/自动 | 手动/自动 |
| 人机界面 | 10寸触摸屏 | 10寸触摸屏 | 10寸触摸屏 |
| 主机尺寸 | 800（W）×800（D）×1800（H） | 800（W）×800（D）×1800（H） | 800（W）×800（D）×1800（H） |
| 真空泵 | 可选干泵或油泵 | ||
| 安装条件 | AC220V；50/60Hz；2Phase 3Wire 或者 AC380V；50/60Hz；3Phase 5Wire | ||
| 其他说明 | 有单独通风泄压通道，设备相关配置可按要求定制 | ||
设备特点
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